TFX4000E——薄膜厚度測量設備

l 可量測多種材料薄膜

l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應力測量

l 輸出產能高，具有較高的性價比

l 可量測范圍更寬廣，超厚膜和超薄膜量測能力更穩定

l 全新橢圓偏振光路設計

l 機械運動性能可靠，穩定性表現卓越

l 功能豐富、易用的軟件和算法

l 全面支持工廠自動化要求